Durch die High-Speed-Mikroskopie lassen sich großflächige Objekte in kürzester Zeit in mikroskopischem Maßstab aufnehmen. In der Halbleiter-, Elektronikindustrie und der Biologie ist der Bedarf an mikroskopischen Prüfverfahren besonders groß, da die zunehmende Inspektion großer Flächen einen immer schnelleren Aufnahmeprozess erfordert.
Bei der High-Speed-Mikroskopie bewegt sich das Objekt dabei im Gegensatz zum herkömmlichen Stop-and-Go-Betrieb kontinuierlich während des Aufnahmevorgangs. Dadurch kann die Probe mit sehr hohen Bildraten – je nach Kamera mit mehr als 100 fps – digitalisiert werden. Durch eine synchrone Blitzbeleuchtung wird Bewegungsunschärfe vermieden. Während des kontinuierlichen Scanvorgangs regeln echtzeitfähige Hardware-Autofokussysteme den Fokus automatisch nach, sodass die Probe an jeder Stelle scharf abgebildet wird. Die Einzelaufnahmen werden durch einen effizienten Stitching-Algorithmus zu einem hochauflösenden und großflächigen Gesamtbild zusammengefügt.
Eine Software zur echtzeitfähigen Datenaufnahme mit RAM-Recording, die am Fraunhofer IPT eigens für die High-Speed-Mikroskopie entwickelt wurde, gewährleistet, dass Bildvorverarbeitung und Stitching dank GPU-Processing ohne Verzögerung ablaufen. Die Aufnahmen können mit sepziell entwickelten Bildverarbeitungsalgorithmen automatisiert ausgewertet werden. Aktuelle Entwicklungen zielen dabei auf den Einsatz von Methoden des Maschinellen Lernens wie Deep Learning mittels Convolutional Neuronal Networks (CNN).
Obwohl das Verfahren bereits heute ca. 30-mal schneller ist als vergleichbare Stop-and-Go-Methoden arbeitet das Fraunhofer IPT daran, den Aufnahmevorgang noch weiter zu beschleunigen. Hierzu werden neben einer stetigen Verbesserung der Software regelmäßig neue Komponenten integriert, wie beispielsweise die Blitz-Beleuchtung, Sensorik für das Hardware-Autofokussystem und Kameratechnik.
Unser Leistungsangebot
- Integration vollautomatisierter Mikroskopielösungen in Anlagen
- Befähigung bestehender Mikroskope zur High-Speed-Bildaufnahme
- Entwicklung und Installation leistungsfähiger Kurzpuls-Beleuchtungen
- Individuelle Bilddatenauswertung, klassisch und KI-gestützt
- Unterstützung bei der Entwicklung von Mikroskopiesystemen